 | Encoder lineare RGH25F UHV compatibile in vuotoIl lettore RGH25F UHV per encoder lineari è compatibile con la riga a nastro RGS20-S di Renishaw per fornire un feedback di posizione diretto ad alta fedeltà in condizioni di ultra alto vuoto. La sua affidabilità è comprovata da anni di utilizzo sul campo, in varie applicazioni: dai semiconduttori alla produzione di apparecchiature scientifiche in tutto il mondo.
Compatibile con le interfacce REF
Il lettore RGH25F UHV è costruito in condizioni di pulizia dedicate, utilizzando materiali e adesivi selezionati con cura per i loro bassi livelli di contaminazioni gassose. Il prodotto è quindi imballato e sigillato in una busta sottovuoto per preservarne la sterilità. Riga a nastro compatibile per operazioni sottovuotoLa riga a nastro RGS20-S fornisce standard di misura altamente ripetibili, adatti alla maggior parte dei materiali utilizzati per la lavorazione di semiconduttori e apparecchiature scientifiche: Invar®, Zerodur®, acciaio inox e alluminio. Dopo che le estremità della riga sono state bloccate sul substrato, tramite la colla epossidica consigliata, il coefficiente di espansione termica della riga risulta uguale a quello del substrato. In pratica è come se il substrato stesso fosse graduato. Risultati delle analisi dei gas residui (RGA)A seguito di una serie di analisi indipendenti sui gas residui (RGA), l'intero sistema è risultato idoneo all'utilizzo in condizioni di vuoto sterile. Inoltre, è adatto per bakeout a 120 °C per l'utilizzo in ultra alto vuoto. Le applicazioni più comuni sono la manipolazione e l'ispezione dei wafer di silicio e la ricerca scientifica. Spettro RGA del lettore RGH20F
Fare clic sul grafico per ingrandirlo Spettro RGA della riga lineare a nastro d'oro RGS
Fare clic sul grafico per ingrandirlo Invar® è un marchio registrato di Arcelor Mittal Brochure
Schede tecniche
Guida all'installazione
Passi successiviPer ulteriori informazioni o per eventuali domande sui prezzi, è possibile contattare Renishaw online oppure telefonare al più vicino ufficio Renishaw. |
Il lettore RGH25F UHV per encoder lineari è compatibile con la riga a nastro RGS20-S di Renishaw per fornire un feedback di posizione diretto ad alta fedeltà in condizioni di ultra alto vuoto. Con una affidabilità comprovata da anni di utilizzo sul campo, RGH25F UHV viene utilizzata per la produzione di semiconduttori e apparecchiature scientifiche in tutto il mondo, in situazioni in cui prestazioni e accuratezza sono fattori critici.
Per accrescere ulteriormente le prestazioni e l'affidabilità a lungo termine, l'interfaccia REF, con conformità RoHS, va a sostituire i modelli delle serie RGB e RGF, portando funzioni di condizionamento del segnale e risoluzioni fino a 5 nm..jpg)
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