 | Encoder RGH20F UHV rotativo compatibile in vuotoIl lettore RGH20F UHV per encoder angolari è compatibile con gli anelli RESR di Renishaw per fornire un feedback di posizione diretto ad alta fedeltà in condizioni di ultra alto vuoto. La sua affidabilità è comprovata da anni di utilizzo sul campo, in varie applicazioni: dai semiconduttori alla produzione di apparecchiature scientifiche in tutto il mondo.
Compatibile con le interfacce REF
Per accrescere ulteriormente le prestazioni e l'affidabilità a lungo termine, l'interfaccia REF, con conformità RoHS, va a sostituire i modelli delle serie RGB e RGF, portando funzioni di condizionamento del segnale e risoluzioni fino a 0,05 secondi d'arco. Il lettore RGH20F UHV è costruito in condizioni di pulizia dedicata, utilizzando materiali e adesivi selezionati con cura per i loro bassi livelli di contaminazioni gassose. Il prodotto è quindi imballato e sigillato in una busta sottovuoto per preservarne la sterilità. Anelli rotativi RESR di RenishawGli anelli RESR sono costruiti in acciaio inox serie 300 senza alcun rivestimento per consentirne pulizie specialistiche e sgrassatura. L'anello dispone di un ampio foro passante e di una sezione ridotta, per semplificare il design e ridurre al minimo massa e inerzia. È presente anche un supporto conico brevettato da Renishaw che costituisce un metodo semplice per ottenere regolazioni fini e un alto livello di stabilità su un ampio intervallo di temperature. Gli anelli RESR per applicazioni UHV sono disponibili con diametri che vanno da 52 a 550 mm. Si possono inoltre richiedere dimensioni personalizzate e diametri più ampi. Risultati delle analisi dei gas residui (RGA)A seguito di una serie di analisi indipendenti sui gas residui (RGA), l'intero sistema è risultato idoneo all'utilizzo in condizioni di vuoto sterile. Inoltre, è adatto per bakeout a 120 °C per l'utilizzo in ultra alto vuoto. Le applicazioni più comuni sono la manipolazione e l'ispezione dei wafer di silicio e la ricerca scientifica. Spettro RGA del lettore RGH20F
Fare clic sul grafico per ingrandirlo Spettro RGA di anelli RESR
Schede tecniche
Guida all'installazioneBrochure
Passi successiviPer ulteriori informazioni o per eventuali domande sui prezzi, è possibile contattare Renishaw online oppure telefonare al più vicino ufficio Renishaw. |
Il lettore RGH20F UHV per encoder angolari è compatibile con gli anelli RESR per fornire un feedback di posizione diretto ad alta fedeltà in condizioni di ultra alto vuoto. Con una affidabilità comprovata da anni di utilizzo sul campo, RGH20F UHV è utilizzato per la produzione di semiconduttori e apparecchiature scientifiche in tutto il mondo, in situazioni in cui prestazioni e accuratezza sono fattori critici.
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