Encoder TONiC™ UHV rotativo compatibile in vuoto

Il lettore per encoder angolari TONiC UHV è compatibile con le righe angolari a gradazione precisa di Renishaw con tacche di zero ottiche IN-TRAC™, inclusi gli anelli a elevata accuratezza RESM e REXM. Tali encoder garantiscono un feedback di posizionamento estremamente affidabile anche in condizioni di ultra alto vuoto. Disponibile a partire dal secondo trimestre 2010, l'encoder angolare TONiC UHV è stato progettato per la lavorazione di semiconduttori e apparecchiature scientifiche in cui prestazioni e affidabilità sono fattori critici.

Lettore incrementale TONiC ad alte prestazioni

Tutti i lettori TONiC utilizzano ottiche di filtraggio Renishaw di ultima generazione, ottimizzate per ridurre il livello di rumore al minimo. Oltre al design innovativo delle ottiche, il sistema sfrutta l'elaborazione dinamica dei segnali, inclusi controllo automatico del guadagno (AGC) e controllo automatico dell'offset (AOC). Come risultato si ottengono segnali in uscita di straordinaria purezza, con SDE tipico di ±30 nm, jitter di 0,51 nm RMS e risoluzioni fino a 0,00075 secondi d'arco.

Tutte le righe TONiC includono la tacca di zero IN-TRAC, inserita direttamente all'interno del canale incrementale, per consentirne la fasatura elettronica automatica con la sola pressione di un pulsante (un'operazione che quindi può anche essere eseguita in remoto). Un altro vantaggio della tacca di zero IN-TRAC è la capacità di rimanere in fase a qualsiasi velocità e a tutte le temperature di funzionamento.

Anelli ad alta accuratezza in acciaio inox

Gli anelli RESM sono costruiti con un unico pezzo di acciaio inox serie 300 senza alcun rivestimento per consentirne pulizie specialistiche e sgrassatura. L'anello dispone di un ampio foro passante e di una sezione ridotta, per semplificare il design e ridurre al minimo massa e inerzia. È presente anche un supporto conico brevettato da Renishaw che costituisce un metodo semplice per ottenere regolazioni fini e un alto livello di stabilità su un ampio intervallo di temperature. Gli anelli RESM per applicazioni UHV sono disponibili con diametri che vanno da 52 a 550 mm. Si possono inoltre richiedere dimensioni personalizzate e diametri più ampi.

TONiC UHV è anche compatibile con gli anelli ultra accurati REXM per applicazioni su assi a prestazioni elevate. Se utilizzati con due lettori, gli anelli REXM con diametro superiore a 100 mm assicurano un'accuratezza totale migliore di ±1 secondo d'arco. Ora, il secondo lettore può essere aggiunto senza problemi, grazie all'interfaccia a doppio segnale DSi che gestisce la combinazione dei canali incrementali e dei segnali delle tacche di zero in modo che il risultato venga interpretato dal controllo come un singolo input dell'encoder, molto accurato.

Il lettore TONiC UHV è costruito in un ambiente sterile creato appositamente, utilizzando materiali e adesivi selezionati con cura per i loro bassi livelli di contaminazioni gassose. Il prodotto è quindi imballato e sigillato in una busta sottovuoto per preservarne la sterilità.

Risultati delle analisi dei gas residui (RGA)

A seguito di una serie di analisi indipendenti sui gas residui (RGA), l'intero sistema è risultato idoneo all'utilizzo in condizioni di vuoto sterile. Inoltre, è adatto per bakeout a 120 °C per l'utilizzo in ultra alto vuoto.

Le applicazioni più comuni sono la manipolazione e l'ispezione dei wafer di silicio e la ricerca scientifica.

Risultati dello spettro RGA per il lettore TONiC UHV

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Risultati provvisori del test: Questo spettro RGA è riferito a un lettore TONiC UHV senza cavo. Contattare la filiale Renishaw per avere lo spettro RGA di un lettore TONiC con cavo compatibile UHV.

IMPORTANTE! L'interfaccia TONiC deve essere posizionata all'esterno dell'ambiente UHV.

Spettro RGA dell'anello rotativo RESR (fisicamente identico all'anello RESM)

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Nota: RESR e RESM sono identici. L'unica differenza è la presenza della tacca di zero IN-TRAC. La tacca è incisa direttamente sull'acciaio e non interferisce con lo spettro RGA.

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Sistema di configurazione encoder fuori linea