Interferometro differenziale

Il rilevatore interferometrico differenziale RLD10-X3-DI consente di misurare lo scostamento relativo fra uno specchio fisso di riferimento e uno specchio di misura in movimento. Questo dispositivo è stato progettato per essere montato sulla parete esterna della camera di processo, tramite un semplice sistema di montaggio con tre spine e risulta particolarmente adatto per applicazioni in vuoto o in ambienti controllati. Non è necessario entrare nella camera per l'allineamento perché la testa contiene deviatori di fascio integrati che permettono a regolare in modo indipendente il beccheggio e l'imbardata del fascio di riferimento e di quello di misura. Inoltre, le caratteristiche di progettazione del sistema di montaggio consentono di rimuovere e riposizionare la testa di rilevamento con un impatto minimo sull'allineamento del sistema.

Specifiche

Le cifre si basano sull'utilizzo della testa RLD10-X3-DI con un'unità laser RLU20

Caratteristiche e vantaggi

• Sistema di metrologia eccezionale
  La straordinaria stabilità della frequenza e un errore ciclico estremamente ridotto consentono di ottenere risoluzioni in uscita fino a 38,6 pm.
• Configurazione differenziale
  Misura la posizione relativa del posizionatore rispetto alla colonna oppure del pezzo di lavoro rispetto all'utensile ed elimina gli errori di modo comune, come ad esempio il movimento della parete laterale della camera causato dalle fluttuazioni ambientali.
• Rapidità di allineamento
  L'allineamento avviene al di fuori della camera di processo, utilizzando quattro deviatori di raggio integrati (regolazione di beccheggio e imbardata di ±1° per i fasci di misura e riferimento) per superare le tolleranze di montaggio di camera e specchi.

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