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Encoder incrementali TONiC™ UHV con anello rotativo (angolare) RESM20

Funzioni

  • Dimensioni lettore: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Risoluzioni fino a 1 nm
  • Velocità fino a 3.673 giri/min
  • Bassissimo errore sottodivisionale (SDE): in genere < ±30 nm
  • Tacca di zero ottica IN-TRAC

Vantaggi

  • Ultra alto vuoto (UHV)
  • Anello a basso profilo con un ampio diametro interno per semplificare l'integrazione
  • Lettore supercompatto per encoder con condizionamento dinamico del segnale per un migliore controllo del movimento
  • Kit di diagnostica a supporto delle installazioni più complesse e per l'ottimizzazione del sistema.
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Cosa è TONiC UHV?

TONiC UHV porta gli encoder senza contatto compatti di Renishaw nelle applicazioni Ultra auto vuoto per un migliore controllo del movimento.

TONiC garantisce velocità fino a 10 m/s e, in combinazione all'interfaccia Ti, risoluzioni fino a soli 1 nm per applicazioni lineari e rotative. I sistemi TONiC sono rapidi e facili da installare e consentono di impostare ampie tolleranze e calibrazioni con la semplice pressione di un pulsante. L'elaborazione dinamica del segnale di TONiC garantisce una maggiore stabilità del segnale con un errore sottodivisionale < ±30 nm per un eccellente controllo del movimento.

Cosa è l'anello RESM20?

RESM20 è un anello, prodotto da un unico pezzo di acciaio inossidabile, con graduazione incrementale da 20 µm incisa sul bordo esterno e tacca di zero ottica IN-TRAC™. Sono disponibili due versioni in una vasta gamma di diametri (da Ø52 mm a Ø550 mm). Anelli con sezione 'A', che garantiscono un'eccezionale accuratezza e includono un sistema per supporto conico che riduce la necessità di un'elevata tolleranza per i pezzi lavorati ed elimina l'eccentricità. Sono disponibili anche anelli sottili con sezione 'B', a inerzia e massa ridotte. Entrambi gli anelli con sezione 'A' e 'B' presentano un ampio diametro interno per un'integrazione flessibile nelle applicazioni UHV. Il formato senza contatto elimina gioco, torsioni dell'albero ed altri errori di isteresi meccanica caratteristici degli encoder incapsulati.

Perché scegliere questo encoder?

Ultra alto vuoto (UHV)

I lettori TONiC UHV sono stati progettati e costruiti con materiali e procedure compatibili con UHV in modo da renderli idonei a condizioni UHV fino a 10 -10 Torr e offrono le eccellenti prestazioni di TONiC.
La gamma di encoder e accessori TONiC UHV è stata prodotta con materiali e adesivi compatibili con condizioni di vuoto per ridurre l'outgassing e fornire un'analisi RGA pulita. Questi prodotti rappresentano la scelta ideale per molte applicazioni, fra cui manipolazione e controllo di wafer di silicio, strumenti scientifici, spettroscopia, attrezzature per ispezione in vuoto e molte altre ancora.

Metrologia eccezionale

L'encoder TONiC include le rinomate ottiche di filtraggio Renishaw e funzioni avanzate per l'elaborazione dei segnali. Le tecnologie di Controllo automatico del guadagno (AGC) e Controllo automatico della correzione (AOC) riducono il rumore dei segnali analogici e il jitter digitale all'interno del lettore.

Gli encoder TONiC producono segnali di uscita con jitter estremamente ridotto (<±0,5 nm RMS) e con un errore sottodivisionale (SDE) di appena <±30 nm. In questo modo possono aiutare i sistemi a mantenere meglio la posizione e a ridurre il calore generato dalle applicazioni con motori lineari. Il basso jitter migliora anche il controllo della velocità nelle applicazioni ad alta precisione, eseguite a velocità ridotta.

Configurazione flessibile

La serie TONiC presenta un'ampia varietà di interfacce esterne che possono essere configurate in modo da adattarsi alla velocità e alla risoluzione richieste dall'applicazione. Grazie alla possibilità di integrare e configurare l'interfaccia esterna, il lettore versatile TONiC, può essere personalizzato in base alle esigenze dell'utente.

Le opzioni di interfacciabilità di TONiC consentono di produrre segnali digitali o analogici e addirittura entrambi questi due segnali contemporaneamente. L'interfaccia TD (doppia risoluzione) è dotata di un uscita selezionabile a doppia risoluzione. Per le applicazioni che richiedono stampe in formati grandi, è disponibile anche un'interfaccia DPI. La flessibilità di configurazione dell'encoder TONiC aiuta gli OEM a sfruttare al massimo le eccellenti capacità di controllo del movimento e il potenziale produttivo in un'ampia gamma di applicazioni.

Opzioni di interfaccia

Interfaccia TD (a doppia risoluzione)

  • Uscita in quadratura a doppia risoluzione selezionabile.
  • Ideale per applicazioni che richiedono un movimento ad alta velocità, ma estremamente preciso.
Interfaccia Ti (quadrata)

Interfaccia DOP (a doppia uscita)

  • Fornisce contemporaneamente segnali in quadratura digitale e da 1 Vpp.
  • Progettato per applicazioni che richiedono la sincronizzazione di una o più operazioni con un asse di movimento.Interfaccia TONiC DOP (a doppia uscita)

DSi (Dual Signal interface - Interfaccia a doppio segnale)

  • L'interfaccia DSi di Renishaw combina i segnali incrementali di due lettori TONiC in un anello RESM20 (oppure REST20 per applicazioni a rotazione parziale) per compensare l'incertezza di posizionamento dei cuscinetti ed eliminare le armoniche di errore dispari, fra cui l'eccentricità, per fornire un'eccellente accuratezza di ±2,0 secondi d'arco. Interfaccia TONiC a doppio segnale con anello rotante RESM

Kit di diagnostica opzionale

Kit diagnostico TONiC™ (software e hardware)

Il software diagnostico TONiC consente di ottimizzare l'installazione degli encoder TONiC e di calibrare il sistema in modo rapido e completo. Il software deve essere utilizzato insieme all'hardware diagnostico TONiC, acquistabile da Renishaw (codice prodotto n. A-9411-0011). L'hardware viene connesso al PC tramite cavo USB (in dotazione con il kit) oppure in linea con le elettroniche del cliente.

Tutti i dettagli sul kit diagnostico TONiC.

Specifiche tecniche

Standard di misura

RESM20: anello prodotto da un unico pezzo di acciaio inossidabile, a basso profilo. Anelli con sezione 'A' standard e diametro interno rastremato oppure con sezione 'B' a bassa inerzia

Disponibile anche per applicazioni a rotazione parziale (REST20)

Dimensioni lettore (LxHxP)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Passo della riga

20 μm

Coefficiente di espansione termica a 20° C15,5 ±0,5 µm/m/°C

Diametro esterno dell'anello

Da 52 mm a 550 mm. Per dimensioni superiori e personalizzate, contattare Renishaw

Numero di linee

Da 8.192 a 86.400 (in base alle dimensioni dell'anello)

Tacca di zero

RESM20: anello con singola tacca di zero IN-TRAC

REST20: anello con due tacche di zero per applicazioni con rotazione parziale

Accuratezza*

Accuratezza della divisione

Accuratezza del sistema


Da ±3,97 a ±0,38 secondi d'arco (in base al diametro dell'anello)

Da ±4,20 a ±0,40 secondi d'arco (in base al diametro dell'anello)

Velocità massima

Analogico

Digitale

(per ulteriori dettagli, vedere la scheda tecnica)

3.673 giri/min a -3 dB (su RESM20 da 52 mm)

3.673 giri/min (TONiC con risoluzione da 5 µm su RESM20 da 52 mm)

Errore sottodivisionale (SDE)

In genere < ±30 nm

Controllo dinamico del segnale

Condizionamento del segnale in tempo reale, incluso Controllo automatico del guadagno (AGC) e Controllo automatico della correzione (AOC) per l'ottimizzazione delle prestazioni durante il funzionamento

Segnali incrementali

Analogico

Digitale

Per i dettagli delle risoluzioni angolari consultare la scheda tecnica

1 Vpp (periodo da 20 μm)

Risoluzione da 5 µm a 1 nm

Collegamenti elettrici

Lunghezza del cavo: 0,5, 1, 1,5, 3, 5 e 10 m con miniconnettore (connessione diretta all'interfaccia TONiC)

Alimentazione elettrica

5 V ±10%, < 100 mA (sistema analogico), < 200 mA (sistemi digitali) (senza terminazione)

Consumo energetico del lettore<100 mA

Vibrazione (in funzione)

100 m/s2 max da 55 Hz a 2000 Hz

Urto (non in funzione)

1000 m/s2, 6 ms, ½ seno

Temperatura di esercizio (sistema)

Da 0° a +70° C

Temperatura di bakeout (non operativa)

120° C (solo lettore e riga)

Protezione

Lettore: IP20

Interfaccia: IP20

Struttura dei cavi

Isolamento FEP dei fili interni con schermo singolo a rete rivestito di stagno e rame.


* Per accuratezza del sistema si intende l'errore di graduazione più l'errore di sottodivisione. Per accuratezza di graduazione si intende la differenza massima fra l'angolo misurato da un singolo lettore e la rotazione effettiva dell'encoder al momento dell'incisione. Le interferenze esterne, quali l'eccentricità non sono incluse.

Per informazioni dettagliate, vedere la scheda tecnica.