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Encoder incrementali TONiC™ UHV con riga lineare RELM20

Caratteristiche

  • Dimensioni lettore: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Risoluzioni fino a 1 nm
  • Velocità fino a 10 m/s
  • Uscite analogiche o digitali
  • Errore sottodivisionale (SDE): in genere < ±30 nm
  • Tacca di zero ottica IN-TRAC

Vantaggi

  • Ultra alto vuoto (UHV)
  • Riga ad alta accuratezza con espansione termica prossima allo zero
  • Encoder ultracompatto con condizionamento dinamico del segnale per un migliore controllo del movimento
  • Kit di diagnostica a supporto delle installazioni più complesse e per l'ottimizzazione del sistema.
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Cosa è TONiC UHV?

TONiC UHV porta gli encoder senza contatto ultracompatti di Renishaw nelle applicazioni Ultra auto vuoto per un migliore controllo del movimento.
TONiC garantisce velocità fino a 10 m/s e, in combinazione all'interfaccia Ti, risoluzioni fino a soli 1 nm per applicazioni lineare e rotative. I sistemi TONiC sono rapidi e facili da installare e consentono di impostare ampie tolleranze e calibrazioni con la semplice pressione di un pulsante. L'elaborazione dinamica del segnale di TONiC garantisce una maggiore stabilità del segnale con un errore sottodivisionale < ±30 nm per un eccellente controllo del movimento.

Cosa è la riga RELM20?

RELM20 è una riga rigida prodotta in ZeroMet™, una lega di nichel/ferro a bassa espansione con un passo di 20 µm.
Paragonabile alle righe di vetro a passo fine, garantisce un'accuratezza totale (incluse pendenza e linearità) migliore di ±1 µm su 1,5 m. ZeroMet ha un coefficiente di espansione termica di 0,75 ±0,35 μm/m/°C a 20° C.
I progettisti hanno a disposizione due opzioni di montaggio, in base alla loro esigenze: con un biadesivo appositamente formulato per applicazioni UHV oppure con morsetti meccanici. Entrambi i metodi di montaggio consentono un'espansione termica indipendente pari a quella del substrato.

Perché scegliere questo encoder?

Ultra alto vuoto (UHV)

I lettori TONiC UHV sono stati progettati e costruiti con materiali e procedure compatibili con UHV in modo da renderli idonei a condizioni UHV fino a 10 -10 Torr e offrono le eccellenti prestazioni di TONiC.
La gamma di encoder e accessori TONiC UHV è stata prodotta con materiali e adesivi compatibili con condizioni di vuoto per ridurre l'outgassing e fornire un'analisi RGA pulita. Questi prodotti rappresentano la scelta ideale per molte applicazioni, fra cui manipolazione e controllo di wafer di silicio, strumenti scientifici, spettroscopia, attrezzature per ispezione in vuoto e molte altre ancora.

Facilità di utilizzo

La riga RELM20 in ZeroMet a bassa espansione termica ha una sezione trasversale molto ridotta rispetto alle normali righe di vetro e consente un utilizzo e un'installazione più semplici senza rischio di rottura. È la scelta ideale per le applicazioni in cui si richiede una precisione assoluta.

Affidabilità e precisione eccezionali in formato compatto

Per garantire la massima affidabilità e un livello costante delle prestazioni, i lettori TONiC incorporano ottiche di filtraggio di terza generazione, regolate per il minimo rumore e jitter e dotate di un sistema di elaborazione dinamica dei segnali che include funzioni di controllo automatico del guadagno (AGC) e controllo automatico della correzione (AOC). Questa combinazione è incorporata all'interno del lettore e fornisce segnali di estrema purezza e un errore sottodivisionale bassissimo (solo ±30 nm). In questo modo si garantisce una maggiore sensibilità nel controllo di velocità, in modo da incrementare le prestazioni e la stabilità nella lettura per ridurre al minimo il surriscaldamento dei motori in condizioni di vuoto. I parametri fondamentali per le applicazioni in condizioni di vuoto sono tutti disponibili in un lettore compatto.

Facilità e rapidità di installazione

Il LED del lettore fornisce un'indicazione visiva della portata del segnale, mentre il kit di diagnostica opzionale consente il controllo a distanza delle prestazioni del sistema, quando il lettore è nascosto all'interno della macchina. La calibrazione della tacca di zero e dei segnali incrementali viene effettuata con la semplice pressione di un pulsante, senza necessità di regolazioni meccaniche o di ulteriori strumenti di diagnostica. La tacca di zero ottica IN-TRAC selezionabile dal cliente è integrata nella riga incrementale per mantenere dimensioni compatte e semplificare l'allineamento. si ottiene un segnale di zero ripetibile a livello di unità di risoluzione in entrambe le direzioni sull'intera gamma di temperature e velocità operative.

Opzioni di interfaccia

Interfaccia TD (a doppia risoluzione)

  • Uscita in quadratura a doppia risoluzione selezionabile. Interfaccia Ti (quadrata)
  • Ideale per applicazioni che richiedono un movimento ad alta velocità, ma estremamente preciso.

Interfaccia DOP (a doppia uscita)

  • Fornisce contemporaneamente segnali in quadratura digitale e da 1 Vpp.
  • Progettato per applicazioni che richiedono la sincronizzazione di una o più operazioni con un asse di movimento.Interfaccia TONiC DOP (a doppia uscita)

Kit di diagnostica opzionale

Kit diagnostico TONiC™ (software e hardware)

Il software diagnostico TONiC consente di ottimizzare l'installazione degli encoder TONiC e di calibrare il sistema in modo rapido e completo. Il software deve essere utilizzato insieme all'hardware diagnostico TONiC, acquistabile da Renishaw (codice prodotto n. A-9411-0011). L'hardware viene connesso al PC tramite cavo USB (in dotazione con il kit) oppure in linea con le elettroniche del cliente.

Tutti i dettagli sul kit diagnostico TONiC.

Specifiche tecniche

Standard di misura

RELM20: riga rigida in ZeroMet ad alta accuratezza con tacca di zero intermedia

Disponibile anche con tacca di zero finale (RELE20)

Dimensioni lettore (LxPxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Passo della riga

20 μm

Coefficiente di espansione termica a 20° C

0,75 ±0,35 µm/m/°C

Grado di accuratezza a 20° C

Certificato a ±1 μm, calibrato in conformità agli standard internazionali

Tacca di zero

Tacca di zero IN-TRAC

Sono disponibili varie opzioni per la posizione della tacca di zero. Per ulteriori dettagli, vedere la scheda tecnica

Interruttori di fine corsa

Fine corsa singoli o doppi (da specificare al momento dell'ordine)

Lunghezza della riga

da 20 mm a 1,5 m

Velocità massima

Analogico

Digitale

(per ulteriori dettagli, vedere la scheda tecnica)

Fino a 10 m/s a -3 dB

Fino a 10 m/s

Errore di sottodivisione (SDE)

In genere < ±30 nm

Controllo dinamico del segnale

Condizionamento del segnale in tempo reale, incluso Controllo automatico del guadagno (AGC) e Controllo automatico della correzione (AOC) per l'ottimizzazione delle prestazioni durante il funzionamento

Segnali incrementali

Analogico

Digitale


1 Vpp (periodo da 20 μm)

Risoluzioni da 5 µm a 1 nm

Collegamenti elettrici

Lunghezza del cavo: 0,5, 1, 1,5, 3, 5 e 10 m con miniconnettore (connessione diretta all'interfaccia TONiC)

Alimentazione elettrica

5 V ±10%, < 100 mA (sistema analogico), < 200 mA (sistemi digitali) (senza terminazione)

Consumo energetico del lettore<100 mA

Vibrazione (in funzione)

100 m/s2 max da 55 a 2.000 Hz

Urto (non in funzione)

1000 m/s2, 6 ms, ½ seno

Temperatura di esercizio (sistema)

Da 0° a +70° C

Temperatura di bakeout (non operativa)

120° C (solo lettore e riga)

Protezione

Lettore: IP20

Interfaccia: IP20

Struttura dei cavi

Isolamento FEP dei fili interni con schermo singolo a rete rivestito di stagno e rame.

Per informazioni dettagliate, vedere la scheda tecnica.