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Interferometro a specchi piani RLD10

Interferometri a specchi piani adatti per le applicazioni in posizionatori XY.

I rilevatori RLD10 contengono le ottiche dell'interferometro, un esclusivo sistema di rilevamento multicanale delle frange, un otturatore laser e un deviatore di raggio integrato. Sono disponibili varianti di rilevatore RLD10 con uscita del raggio a 0° e a 90°.

Funzioni e vantaggi

  • Soluzioni a due assi: i sistemi con specchio piano e doppio asse sono la soluzione ideale per le applicazioni su posizionatori XY.
  • Alta risoluzione: i sistemi a specchio piano possono essere un'opzione valida anche in caso di necessità di una risoluzione maggiore di quella ottenibile dai sistemi con retroriflettori.
  • Ambienti sensibili: i rivelatori interferometrici a specchi piani sono disponibili anche nella variante a bassa potenza. Adatti ad applicazioni che richiedano una dissipazione di potenza inferiore a < 2 W specificati dal RLD10 standard.
Rilevatori RLD con specchi

Specifiche

Corsa degli assida 0 m a 1 m
Risoluzione (configurato con RLU)

Quadratura analogica = λ/4 (158 nm)
Quadratura digitale = 10 nm
Risoluzione RPI20 = 38,6 pm

Errore di non linearità del sistema* (SDE)

*Esclusa l'interfaccia

<±2,5 nm al di sotto di 50 mm/sec con >70% potenza del segnale
<±7,5 nm a 1 m/sec con >50% potenza del segnale
Velocità massimaFino a 1 m/sec


Per le applicazioni non in vuoto, è necessario compensare l'indice di rifrazione per mantenere l'accuratezza in condizioni ambientali variabili. La soluzione Renishaw per la correzione in tempo reale di queste variazioni è il compensatore RCU10.

È possibile ottenere risoluzioni fino a 38,6 picometri integrando un'interfaccia parallela RPI20 nel sistema RLE. Questa interfaccia accetta segnali analogici differenziali con seno/coseno da 1 Vpp e fornisce un'uscita in formato parallelo. Per ulteriori informazioni sui nostri accessori, vedere Sistema di compensazione RCU10 e Interfacce degli encoder laser.

Informazioni sui prodotti