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Semiconduttori

In elettronica l'uso dei materiali per semiconduttori è largamente diffuso. La produzione di molti dispositivi all'avanguardia, fra cui transistor, celle solari e LED, spinge lo sfruttamento delle proprietà dei materiali al limite e questo richiede che essi siano il più possibile omogenei. La spettroscopia Raman è uno strumento ideale per lo studio dei semiconduttori.

Caratterizzazione dei semiconduttori

È possibile utilizzare la spettroscopia Raman per caratterizzare e generare immagini di tutti i semiconduttori (ad esempio Si, carbonio, III-V e polimeri) e superconduttori. Questa tecnica consente di scoprire una grande varietà di informazioni:

  • composizione chimica (ad esempio, frazioni di leghe nei semiconduttori composti)
  • politipi (ad esempio 4H-SiC e 6H-SicC)
  • stati tensionali
  • concentrazione degli elementi droganti
  • spessore dei film sottili
  • tipologia e orientamento delle strutture cristalline
  • qualità dei cristalli
  • uniformità e purezza
  • temperatura del dispositivo

Semplificazione delle analisi

Le analisi Raman sono semplici da eseguire perché non richiedono la preparazione dei campioni, né tecnologie per la creazione di vuoto. Inoltre, non sono soggette agli effetti delle cariche, come invece avviene nella microscopia elettronica.

I sistemi Raman della Renishaw possono essere configurati in modo da soddisfare le esigenze di tutte le tipologie di utenti, dai ricercatori ai tecnici.

Analisi su aree ampie
I sistemi Raman della Renishaw sono in grado di analizzare campioni di grandi dimensioni. Ad esempio, è possibile generare immagini di interi wafer per individuare eventuali contaminanti o stress residui.

Caratterizzazione PL
I sistemi Raman della Renishaw consentono anche di raccogliere e analizzare spettri di fotoluminescenza (PL). Un solo strumento è sufficiente per acquisire sia le informazioni elettroniche che quelle vibrazionali.

Sistemi online
L'inserimento di un sistema Raman della Renishaw nella linea di produzione consente di eseguire online le analisi per il controllo qualità. Diagnosi precoce dei problemi, riduzione degli scarti e aumento della resa.

Risultati affidabili
I sistemi Raman della Renishaw producono dati estremamente ripetibili che forniscono una rappresentazione accurata del campione. Il sistema integrato di calibrazione automatica e di controllo dello stato della macchina assicura un confronto esatto fra dati, a prescindere da quando sono stati acquisti

Nota sull'applicazione da scaricare

  • Application note:  Analyse silicon carbide (SiC) with the inVia Raman microscope Application note: Analyse silicon carbide (SiC) with the inVia Raman microscope [en]

    The properties of silicon carbide are highly dependent on its crystal structure (it can exist in many polytypes), on the quality of the crystal, and on the number and types of defects present. Manufacturers of silicon carbide raw material and devices need to monitor and control these attributes to enhance yield. The first step in controlling these parameters is to measure them repeatably and quantifiably. Renishaw’s Raman systems are ideal for this.

Ulteriori informazioni

Siamo a disposizione per ogni esigenza

Per ottenere ulteriori informazioni su quest'area applicativa o su applicazioni che non sono state trattate in questa pagina, contattare il nostro team.

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